В МИЭТе по госконтракту разработают концепцию безмасочного фотолитографа — для выпуска микросхем 28 нанометров и ниже
Вслед за Зеленоградским наноцентром за разработку фотолитографа (степпера) для выпуска микросхем по современным проектным нормам взялся МИЭТ. По заказу Минпромторга за 670 миллионов рублей там будут разрабатывать концепцию безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника». Рассказываем подробно об этой разработке, которую, по мнению некоторых экспертов, надо было начинать лет пятнадцать назад.